Çfarë është një pllakë lustruese prej nape qeramike prej alumine me pastërti të lartë?

Me zhvillimin e shpejtë të industrisë së gjysmëpërçuesve, shkalla e industrisë është rritur me shpejtësi dhe pajisjet e prodhimit të gjysmëpërçuesve kanë vazhduar të evoluojnë drejt saktësisë dhe kompleksitetit. Meqenëse qeramika ka avantazhet e fortësisë së lartë, modulit të lartë elastik, rezistencës së lartë ndaj konsumimit, izolimit të lartë, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët etj., ajo mund të përdoret si pjesë e makinës së lustrimit të silikonit, pajisjeve të trajtimit termik epitaksial/oksidim/difuzion, makinës së litografisë, pajisjeve të depozitimit, pajisjeve të gdhendjes së gjysmëpërçuesve, makinës së implantimit të joneve dhe pajisjeve të tjera, kështu që kërkimi, zhvillimi dhe prodhimi i pjesëve qeramike precize ndikojnë drejtpërdrejt në zhvillimin e industrisë së gjysmëpërçuesve. Kërkesat teknike të përgatitjes së saj po bëhen gjithnjë e më të larta.

Aluminë me pastërti të lartë, 99.7%-99.9% aluminë.
Rezistencë e lartë mekanike, rezistencë e lartë ndaj konsumimit, izolim i lartë elektrik, stabilitet i lartë kimik, rezistencë e mirë ndaj nxehtësisë dhe rezistencë ndaj korrozionit. Aktualisht, përdorimi i pllakave të silikonit gjysmëpërçues me disk bluarjeje qeramike është metoda më superiore dhe më e përparuar e bluarjes. Procesi i bluarjes dypalëshe përdoret për të bluar pllakat e silikonit të prera, dhe cilësia e pllakave të bluarjes përmirësohet duke përmirësuar procesin e bluarjes (materiali i diskut, lëngu bluarës, presioni i bluarjes dhe shpejtësia e bluarjes, etj.). Në veçanti, përdorimi i pllakave qeramike në vend të pllakave prej gize, për të shmangur bluarjen në sipërfaqen kryesore të pllakave të shkaktuara nga plagët ose ndotja, për të zvogëluar futjen e joneve metalike, mund të zvogëlojë përpunimin pasues të silikonit, të shkurtojë kohën e procesit pasues (korrozioni), të përmirësojë efikasitetin e prodhimit dhe të zvogëlojë humbjen e përpunimit të silikonit, duke përmirësuar shumë shfrytëzimin e silikonit.

Pllakë për lustrim me napë të aluminit të lartëPërdoret në industri gjysmëpërçuese, nafte, kimike, fotovoltaike, kristale të lëngshme dhe industri të tjera, të tilla si pjesë mekanike, pjesë elektronike, disk induksioni me mikrovalë, materiale izoluese dhe pjesë të tjera, pajisje gjysmëpërçuese, pajisje vakumi, pajisje prodhimi kristalesh të lëngshme dhe pjesë të tjera. Qeramika e aluminës me përmasa të mëdha dhe pastërti të lartë ka vlerë të rëndësishme aplikimi në industrinë e safirit dhe industrinë e çipave gjysmëpërçues. Është një mbështetje kyçe dhe harxhuese për lustrimin kimik mekanik (CMP) të pllakave të safirit dhe silikonit gjysmëpërçues. Qeramika e aluminës me përmasa të mëdha dhe pastërti të lartë mund të përdoret gjithashtu si një substrat alumine për LCD.